2000年10月

山梨県北巨摩郡小淵沢町(現 山梨県北杜市小淵沢町)に創業者の研究成果を世の中に還元することを目的として株式会社オキサイドを設立

2001年5月

Super LN/LT新製品開発に成功 国際展示会で販売開始

2003年9月

東芝セラミックス株式会社(現 クアーズテック株式会社)と資本・業務提携

2005年6月

本社及び第1工場を山梨県北杜市武川町(現所在地)に移転

2005年12月

三菱電線工業株式会社より光デバイス事業買収

2006年6月

株式会社ニコンと資本・業務提携

2006年8月

米国KLA-Tencor Corporation(現 KLA Corporation)と資本・業務提携

2007年10月

エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社と資本・業務提携

2008年3月

山梨県北杜市に第2工場竣工

2008年10月

第1・2工場が、ISO9001認証取得

2008年12月

レーザーテック株式会社と資本提携

2010年9月

株式会社マグネスケールよりレーザ事業買収

2010年10月

神奈川県横浜市港北区に横浜事業所を設置

2012年4月

久保田研究所を設立

2013年2月

266nmCWレーザ、ニューラインナップ発売開始

2013年4月

光学的ノイズ(スペックルノイズ)測定器であるDr.SPECKLE、ニューラインナップ発売開始

2015年3月

日立化成株式会社(現 株式会社レゾナック)よりシンチレータ単結晶事業買収、

山梨県北杜市に第3工場取得

2016年6月

横浜事業所を神奈川県横浜市保土ヶ谷区(現所在地)に移転

2016年6月

国際電気標準会議より、スペックル測定方法の国際標準取得

(発行No.IEC 62906-5-2:2016 Laser display devices -Part 5-2)

2016年8月

株式会社日立ハイテクノロジーズ(現 株式会社日立ハイテク)と資本・業務提携

2018年8月

米国Lumeras LLCから真空紫外レーザ事業買収

2019年6月

デンマークNKT Photonics A/Sとフェムト秒レーザの開発・製造で業務提携

2020年2月

LASEA S.A.とレーザ微細加工機の販売で業務提携

2020年4月

久保田研究所をレーザ事業部に統合

2021年4月

東京証券取引所マザーズに株式を上場

2021年10月

株式会社UJ-CrystalとSiC単結晶の量産化に向けた研究開発で資本業務提携

2022年3月

山梨県北杜市に第6工場取得

2022年4月

東京証券取引所の市場区分の見直しにより、同取引所グロース市場に移行

2022年5月

LQUOM株式会社と長距離量子通信機器の実用化に向けた研究開発で資本業務提携

2022年6月

株式会社日立ハイテクとの資本提携は解消(業務提携は継続)

2023年3月

Raicol Crystals Ltd.(イスラエル)を子会社化

2023年3月

山梨県北杜市に第4工場(第1期工事)と第5工場竣工