当社グループは、半導体製造装置の製造・販売・保守サービスを通じて、グローバルに事業展開を行っている。
主力事業は装置ビジネスであり、成膜工程や熱処理工程の装置を中心に各種製品を提供している。
特に、バッチALD技術により高難易度成膜と高生産性を両立させた装置があり、売上高で世界シェア1位を誇る。
また、膜質改善のための枚葉トリートメント装置も取り扱い、こちらも需要が高まっている。
サービスビジネスでは、部品販売や保守サービスを提供し、顧客のニーズに応える体制を整えており、安定した収益基盤を構築している。