企業グループは、半導体・液晶関連事業と研究機関・大学関連事業の2つの主要セグメントで構成されている。
半導体・液晶関連事業では、プラズマ用高周波電源、マッチングユニット、計測器などの製造装置の設計・製造・販売を行い、主に半導体・液晶基板製造工程に用いられる。
また、研究機関や大学向けには、医療・環境および物質科学分野の研究開発に必要な各種電源装置の設計・製造・販売を手掛けている。
同社の関連会社は、アメリカ、イギリス、韓国、台湾、中国に営業拠点を持ち、グローバルに展開している。
特に、直流電源やマイクロ波電源の分野での技術サービス提供にも力を入れており、業界の研究開発を支援する体制が整っている。