当社グループは、真空技術を基盤とする総合メーカーで、多岐にわたる産業分野に向けて真空関連製品を提供している。
主な事業は、真空機器事業と真空応用事業の2つに分類される。
真空機器事業では、半導体および電子部品製造装置（スパッタリング装置やCVD装置など）や一般産業用装置（真空溶解炉や真空熱処理炉など）を提供し、真空応用事業では、材料や表面分析装置を扱っている。
このような製品を通じて、スマートフォンや自動車などの最終製品に不可欠なエレクトロニクス部品の製造を支えている。