1969年6月

三益産商株式会社の研磨部を分離独立し、半導体シリコンウエハーの鏡面研磨加工を目的として群馬県群馬郡群馬町(現高崎市足門町)に三益半導体工業株式会社を設立。

1969年11月

群馬県群馬郡群馬町(現高崎市足門町)に第二工場を建設。

1983年9月

本社を群馬県群馬郡群馬町足門762番地(現高崎市足門町762番地1)に移転。

1983年12月

三益産商株式会社(精密機械の販売等)及び株式会社三益エンジニアリング(プラントの設計・製作等)を合併、それぞれの事業を事業部制のもとに引継ぎ事業目的を拡大。

1984年7月

エンジニアリング事業部を、設計・製作の機能化と研究開発の充実を目的として、群馬県群馬郡群馬町棟高(現高崎市棟高町)に新社屋を建設、移転。

1984年8月

福島県白河市に産商事業部白河営業所を開設。

1986年1月

株式を社団法人日本証券業協会(現日本証券業協会)に店頭登録。

1986年8月

埼玉県熊谷市に産商事業部埼玉営業所を開設。

1991年4月

群馬県群馬郡群馬町保渡田(現高崎市保渡田町)に上郊工場(K-I棟)を建設。

1991年5月

栃木県宇都宮市に産商事業部宇都宮営業所を開設。

1993年5月

埼玉県深谷市に産商事業部埼玉営業所を移転。

1995年11月

上郊工場敷地内に工場棟(K-II棟)を建設。

1996年8月

半導体事業部第一工場の生産設備を本社工場(旧足門工場)に全面的に移設し集約。

1996年12月

上郊工場敷地内に工場棟(K-III棟)を建設。

1997年2月

産商事業部太田営業所と宇都宮営業所を統合して、栃木県足利市に産商事業部北関東営業所を開設。

1997年4月

株式を東京証券取引所市場第二部に上場。

1998年11月

株式を東京証券取引所市場第一部に上場。

1999年3月

上郊工場敷地内に工場棟(K-IV棟)を建設。

2004年12月

上郊工場敷地内に工場棟(K-V棟)を建設。

2006年2月

本社を群馬県高崎市保渡田町2174番地1に移転。

2008年2月

上郊工場敷地内に工場棟(K-VI棟)を建設。

2009年8月

足門工場の生産終了。

2014年5月

愛知県知立市に産商事業部三河営業所を開設。

2022年4月

東京証券取引所の市場区分の見直しにより、東京証券取引所の市場第一部からプライム市場に移行。