同社は、半導体と電子部品の製造装置を専門に手掛けるメーカーであり、薄膜形成装置、微細加工装置、洗浄装置などを中心に製品を展開している。
特に、CVD装置や原子層堆積装置は化合物半導体デバイスやシリコン半導体の加工に重点を置き、高精度な薄膜形成と加工を実現している。
また、独自技術のトルネードICPを用いたエッチング装置や、環境に優しいAqua Plasma洗浄装置も導入し、幅広い産業用途に対応している。
これにより、LEDや半導体レーザーなどのオプトエレクトロニクスや、MEMSなどの電子部品分野において、高度な加工ニーズに応えつつ、グローバルな市場における競争力を強化する取り組みがある。