当社グループは、主に半導体等装置関連事業と電子デバイス事業を展開している。
半導体製造に不可欠な真空シール、石英製品、セラミックス製品、CVD-SiC製品、シリコンパーツ、さらに装置部品洗浄などの開発、製造、販売を行い、これらは世界市場で高いシェアを持つ。
また、電子デバイス事業では、サーモモジュールや磁性流体、パワー半導体用基板、センサなど、多様な製品を提供している。
特にサーモモジュールは自動車の温調シートなどへの応用が進んでおり、革新的な技術と高品質な製品が特徴である。