この企業グループは、光応用技術を駆使した半導体関連およびその他の検査・測定装置の設計、製造、販売を行う。
主力事業として、半導体製造プロセスにおけるマスク欠陥検査装置やウェハ欠陥検査装置に注力しており、特にアクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS」やEUVマスクブランクス欠陥検査装置などが特徴的な製品である。
販売は北米や欧州では子会社が担当し、国内とアジア地域は自社が行う体制が整えており、グローバルに展開されている。
また、各地域での保守サービスも充実しており、韓国や台湾、中国などでの子会社が同社製品のサービスを提供している。